Нормативные документы размещены исключительно с целью ознакомления учащихся ВУЗов, техникумов и училищ.
Объявления:
Нормативные документы - главная страница

ГОСТ 5.2105-73 - Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов
Наименование документа:ГОСТ 5.2105-73
Тип документа:стандарт
Статус документа:действующий
Название рус.:Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Название англ.:Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products
Дата актуализации текста:01.08.2013
Дата введения:31.08.1973
Дата актуализации описания:01.08.2013
Кол-во страниц в основном тексте документа:13 шт.
Дата издания:04.10.1973
Переиздание:
Дата последнего изменения:22.05.2013
Расположен в:
  ОКС Общероссийский классификатор стандартов
  31 ЭЛЕКТРОНИКА
  31.260 Оптоэлектроника. Лазерное оборудование (Включая фотоэлементы)

  КГС Классификатор государственных стандартов
  Э Электронная техника, радиоэлектроника и связь
  Э7 Технологическое и контрольно-испытательное оборудование для изготовления и контроля качества изделий радиоэлектроники
  Э72 Контрольно-испытательное оборудование для контроля качества изделий электронной и радиопромышленности

   ОКП
  440000 ПРИБОРЫ И АППАРАТУРА ОПТИЧЕСКИЕ
  443000 Приборы оптические общепромышленного, специального и научного применения
  443500 Микроскопы световые, лупы

ГОСТ 5.2105-73. Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции. Страница 1
ГОСТ 5.2105-73. Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции. Страница 2
ГОСТ 5.2105-73. Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции. Страница 3
ГОСТ 5.2105-73. Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции. Страница 4
ГОСТ 5.2105-73. Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции. Страница 5
ГОСТ 5.2105-73. Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции. Страница 6
ГОСТ 5.2105-73. Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции. Страница 7
ГОСТ 5.2105-73. Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции. Страница 8
ГОСТ 5.2105-73. Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции. Страница 9
ГОСТ 5.2105-73. Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции. Страница 10
ГОСТ 5.2105-73. Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции. Страница 11
ГОСТ 5.2105-73. Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции. Страница 12
ГОСТ 5.2105-73. Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции. Страница 13
Навигационное меню:

  Общероссийский классификатор стандартов
  Классификатор государственных стандартов
  Тематические сборники
  Обязательная сертификация
  Декларация о соответствии
  ОКП
  Технические регламенты РФ
     Строительный каталог
2008-2013. ГОСТы, СНиПы, СанПиНы - Нормативные документы - стандарты. ГОСТ 5.2105-73, Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции,