Объявления:
ГОСТ Р 8.640-2008 - Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок| Наименование документа: | ГОСТ Р 8.640-2008 |
| Тип документа: | стандарт |
| Статус документа: | действующий |
| Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки |
| Название англ.: | State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods |
| Дата актуализации текста: | 01.08.2013 |
| Дата введения: | 01.01.2009 |
| Дата актуализации описания: | 01.08.2013 |
| Кол-во страниц в основном тексте документа: | 15 шт. |
| Дата издания: | 15.05.2008 |
| Переиздание: | |
| Дата последнего изменения: | 22.05.2013 |
| Расположен в: |   ОКС Общероссийский классификатор стандартов 17 МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ 17.020 Метрология и измерения в целом (Включая измерительные приборы в целом, предпочтительные числа, эталонные меры, общие аспекты эталонных материалов и т. д. ;Величины и единицы измерений см.: 01.060 ;Химические эталонные материалы см.: 71.040.30) КГС Классификатор государственных стандартов Т Общетехнические и организационно-методические стандарты Т8 Государственная система измерений Т84 Государственные эталоны единиц физических величин и государственные поверочные схемы Тематические сборники ГСОЕИ Государственная система обеспечения единства измерений. |
               | |
